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薄膜沉积设备市场规模、竞争格局及开展趋势预测（附报告目录）

薄膜沉积是指在硅片衬底上沉积一层待处理的薄膜材料。所沉积薄膜材料可以是二氧化硅、氮化硅、多晶硅等非金属以及铜等金属。沉积的膜可以为无定形、多晶的或者单晶。在晶圆制造过程中，这三种薄膜都会被用到。薄膜沉积设备主要负责各个步骤当中的介质层与金属层的沉积，包括 CVD（化学气相沉积）设备、PVD（物理气相沉积）设备/电镀设备和 ALD（原子层沉积）设备，其中 ALD 又是属于 CVD 的一种，是先进制程部分工序节点所需的薄膜沉积设备。

1、薄膜沉积设备市场规模分析

在半导体行业下游需求增长以及技术变革的有助于下，全球薄膜沉积设备行业持续稳定开展。数据显示，2017-2020年全球半导体薄膜沉积设备市场规模从125亿美元扩大至约 172 亿美元，年均增长率为 11.3%。

相关报告：北京EBET易博(中国)信息咨询有限公司《2021-2027年薄膜沉积设备产业全景调研及投资战略规划研究分析报告》

2017-2020年全球半导体薄膜沉积设备市场规模分析

资料来源：EBET易博(中国)

新建晶圆厂设备投资中，晶圆制造相关设备投资额占比约为总体设备投资的80%，薄膜沉积设备作为晶圆制造的三大主设备之一，其投资规模占晶圆制造设备总投资的 25%。

薄膜沉积工艺的不断开展，形成了较为固定的工艺流程，同时也根据不同的应用演化出了 PECVD、溅射 PVD、ALD、LPCVD 等不同的设备用于晶圆制造的不同工艺。其中，PECVD 是薄膜设备中占比最高的设备类型，占整体薄膜沉积设备市场的 33%；ALD 设备现在占据薄膜沉积设备市场的 11%；SACVD 是新兴的设备类型，属于其他薄膜沉积设备类目下的产品，占比较小。在整个薄膜沉积设备市场，属于 PVD 的溅射 PVD 和电镀 ECD 合计占有整体市场的 23%。

2、市场竞争格局及态势

从全球市场份额来看，薄膜沉积设备行业呈现出高度垄断的竞争局面，行业基本由应用材料（AMAT）、ASM、泛林半导体（Lam）、东京电子（TEL）等国际巨头垄断。2019 年，ALD 设备龙头东京电子（TEL）和先晶半导体（ASMI）分别占据了 31%和 29%的市场份额，剩下 40%的份额由其他厂商占据；而应用材料（AMAT）则基本垄断了 PVD 市场，占 85%的比重，处于绝对龙头地位；在 CVD 市场中，应用材料（AMAT）全球占比约为 30%，连同泛林半导体（Lam）的 21%和 TEL 的 19%，三大厂商占据了全球 70%的市场份额。

3、薄膜沉积设备市场开展趋势

（1）薄膜沉积设备市场需求稳步增长

随着半导体行业整体景气度的提升，全球半导体设备市场呈现快速增长态势，拉动市场对薄膜沉积设备需求的增加。未来，技术开展将加速下游半导体产品需求增长，全球集成电路制造业产能将进一步扩张，全球半导体薄膜沉积设备市场规模将因此高速增长。

公开信息显示，长江存储、上海华力、华虹无锡、上海积塔、中芯绍兴、合肥晶合等中国本土晶圆厂正在加大设备采购力度。中国本土晶圆厂建厂的热潮将一同引领中国半导体薄膜沉积设备的需求增长。

（2）芯片工艺进步及结构复杂化提高薄膜设备需求

随着集成电路的持续开展，晶圆制造工艺不断走向精密化，芯片结构的复杂度也不断提高，需要在更微小的线宽上制造，制造商要求制备的薄膜品种随之增加，最终用户对薄膜性能的要求也日益提高。这一趋势对薄膜沉积设备产生了更高的技术要求，市场对于高性能薄膜设备的依赖逐渐增加。

由于芯片的线宽越来越窄，结构越来越复杂，对于现有薄膜的性能参数精细化要求提高，也衍生出新的设备及薄膜材料的需求。在新薄膜材料方面，更强绝缘性能（低 k）的材料，与低 k 材料配套使用的新型阻挡层材料以及光刻工序中新的光掩膜工艺硬掩模层材料得到应用。

（3）先进产线对薄膜设备需求量陡增

随着产线的逐渐升级，晶圆厂对薄膜沉积设备数量和性能的需求将继续随之提升，在实现相同芯片制造产能的情况下，对薄膜沉积设备的需求量也将相应增加。

未来，5G通信技术、数据中心、智慧城市、汽车电子、人工智能等一系列新技术及市场需求做驱动，将使先进制程产线占比提高，进一步加速薄膜沉积设备市场规模攀升。随着 3D NAND FLASH 芯片的内部层数不断增高，对于薄膜沉积设备的需求提升的趋势亦将延续。

尽管全球半导体设备市场有较强的周期性，但中国大陆半导体产业正面临前所未有的开展机遇，国家战略聚焦，巨大市场支撑，产业链良性互动，产业资本日渐发力，大陆及国际资本投资的晶圆厂数量不断增加，制程更加先进，中国薄膜沉积设备行业将保持高成长性，未来中国市场的重要性将进一步提高。

报告目录：

第1章 薄膜沉积设备行业界定及开展环境剖析

1.1 薄膜沉积设备行业界定及统计说明

1.1.1 薄膜沉积设备在半导体产业链中的地位

1.1.2 薄膜沉积设备的界定与工作原理

（1）薄膜沉积的界定

（2）薄膜沉积设备工作原理

（3）薄膜沉积设备的分类

1.1.3 本行业关联国民经济行业分类

1.1.4 本报告行业研究范围的界定说明

1.1.5 本报告的数据来源及统计标准说明

1.2 中国薄膜沉积设备行业政策环境

1.2.1 行业监管体系及组织介绍

1.2.2 行业标准体系建设现状

（1）标准体系建设

（2）现行标准汇总

（3）即将实施标准

（4）重点标准解读

1.2.3 行业开展相关政策规划汇总及解读

（1）行业开展相关政策汇总

（2）行业开展相关规划汇总

1.2.4 行业重点政策规划解读

1.2.5 政策环境对行业开展的影响分析

1.3 中国薄膜沉积设备行业经济环境

1.3.1 宏观经济开展现状

1.3.2 宏观经济开展展望

1.3.3 行业开展与宏观经济相关性分析

1.4 中国薄膜沉积设备行业社会环境

1.4.1 中国人口规模及结构

1.4.2 中国城镇化水平变化

1.4.3 中国居民收入水平及结构

1.4.4 中国居民消费支出水平及结构演变

1.4.5 中国消费新趋势

1.4.6 社会环境变化对行业开展的影响分析

1.5 中国薄膜沉积设备行业技术环境

1.5.1 薄膜沉积技术分析

1.5.2 薄膜沉积设备技术创新动态

1.5.3 薄膜沉积设备相关专利申请及公开情况

1.5.4 薄膜沉积设备技术创新趋势

1.5.5 技术环境对行业开展的影响分析

第2章 全球薄膜沉积设备行业开展趋势及前景预测

2.1 全球薄膜沉积设备行业开展历程及开展环境分析

2.1.1 全球薄膜沉积设备行业开展历程

2.1.2 全球薄膜沉积设备行业开展环境

2.2 全球薄膜沉积设备行业供需状况及市场规模测算

2.2.1 全球薄膜沉积设备行业供需状况

2.2.2 全球薄膜沉积设备行业市场规模测算

2.3 全球薄膜沉积设备行业区域开展格局及重点区域市场研究

2.3.1 全球薄膜沉积设备行业区域开展格局

2.3.2 重点区域薄膜沉积设备行业开展分析

（1）韩国

（2）美国

（3）日本

2.4 全球薄膜沉积设备行业市场竞争状况分析

2.4.1 全球薄膜沉积设备行业市场竞争状况

2.4.2 全球薄膜沉积设备企业兼并重组状况

2.5 全球薄膜沉积设备行业开展趋势及市场前景预测

2.5.1 全球薄膜沉积设备行业开展趋势预判

2.5.2 全球薄膜沉积设备行业市场前景预测

第3章 中国薄膜沉积设备行业开展现状与市场痛点分析

3.1 中国薄膜沉积设备行业开展历程及市场特征

3.1.1 中国薄膜沉积设备行业开展历程

3.1.2 中国薄膜沉积设备市场开展特征

3.2 中国薄膜沉积设备所属行业进出口状况分析

3.2.1 中国薄膜沉积设备所属行业进出口概况

3.2.2 中国薄膜沉积设备所属行业进口状况

（1）行业进口规模

（2）行业进口价格水平

（3）行业进口产品结构

（4）行业主要进口来源地

（5）行业进口趋势及前景

3.2.3 中国薄膜沉积设备行业出口状况

（1）行业出口规模

（2）行业出口价格水平

（3）行业出口产品结构

（4）行业主要出口来源地

（5）行业出口趋势及前景

3.3 中国薄膜沉积设备行业市场供需状况

3.3.1 中国薄膜沉积设备行业参与者类型及规模

3.3.2 中国薄膜沉积设备行业参与者进场方式

3.3.3 中国薄膜沉积设备行业市场供给分析

3.3.4 中国薄膜沉积设备行业市场需求分析

3.3.5 中国薄膜沉积设备行业价格水平及走势

3.4 中国薄膜沉积设备行业市场规模测算

3.5 中国薄膜沉积设备行业市场痛点分析

第4章 中国薄膜沉积设备行业竞争状态及市场格局分析

4.1 中国薄膜沉积设备行业市场进入与退出壁垒

4.2 中国薄膜沉积设备行业投融资、兼并与重组状况

4.2.1 中国薄膜沉积设备行业投融资开展状况

（1）行业资金来源

（2）投融资主体

（3）投融资方式

（4）投融资事件汇总

（5）投融资信息汇总

（6）投融资趋势预测

4.2.2 中国薄膜沉积设备行业兼并与重组状况

（1）兼并与重组事件汇总

（2）兼并与重组动因分析

（3）兼并与重组案例分析

（4）兼并与重组趋势预判

4.3 中国薄膜沉积设备行业市场格局及集中度分析

4.3.1 中国薄膜沉积设备行业市场竞争格局

4.3.2 中国薄膜沉积设备行业国际竞争力分析

4.3.3 中国薄膜沉积设备行业国产化开展现状

4.3.4 中国薄膜沉积设备行业市场集中度分析

4.4 中国薄膜沉积设备行业波特五力模型分析

4.4.1 上游议价能力分析

4.4.2 下游议价能力分析

4.4.3 行业内企业竞争分析

4.4.4 替代品威胁分析

4.4.5 潜在进入者分析

4.4.6 行业市场竞争总结

第5章  中国薄膜沉积设备产业链梳理及全景深度解析

5.1 薄膜沉积设备产业链梳理及成本结构分析

5.1.1 薄膜沉积设备产业链结构及生态体系

5.1.2 薄膜沉积设备的组成结构

5.1.3 薄膜沉积设备成本结构

5.2 中国薄膜沉积设备行业上游供应市场解析

5.2.1 薄膜沉积设备行业上游原材料类型

5.2.2 薄膜沉积设备上游核心组件类型

5.2.3 薄膜沉积设备上游供应状况分析

5.2.4 上游供应对薄膜沉积设备行业开展的影响分析

5.3 薄膜沉积设备行业设计市场

5.4 薄膜沉积设备行业中游细分产品市场分析

5.4.1 CVD设备

5.4.2 PVD设备

5.4.3 ALD设备

5.4.4 真空蒸镀设备

5.4.5 MBE设备

5.4.6 液相外延设备

5.4.7 电化学镀膜设备

5.5 半导体制造及其他领域对薄膜沉积设备的需求分析

5.5.1 半导体制造领域对薄膜沉积设备的需求分析

5.5.2 其他领域对薄膜沉积设备的需求分析

第6章 全球及中国薄膜沉积设备代表性企业开展布局案例研究

6.1 中国薄膜沉积设备代表性企业开展布局对比

6.2 全球薄膜沉积设备行业代表性企业布局案例

6.2.1 A企业

（1）企业开展历程及基本信息

（2）企业开展状况

（3）企业薄膜沉积设备业务布局现状

（4）企业薄膜沉积设备业务投融资状况

6.2.2 B企业

（1）企业开展历程及基本信息

（2）企业开展状况

（3）企业薄膜沉积设备业务布局现状

（4）企业薄膜沉积设备业务投融资状况

6.2.3  C企业

（1）企业开展历程及基本信息

（2）企业开展状况

（3）企业薄膜沉积设备业务布局现状

（4）企业薄膜沉积设备业务投融资状况

6.3 中国薄膜沉积设备代表性企业开展布局案例

6.3.1 A公司

（1）企业开展历程及基本信息

（2）企业开展状况

（3）企业薄膜沉积设备布局状况

（4）企业薄膜沉积设备布局的优劣势分析

6.3.2 B公司

（1）企业开展历程及基本信息

（2）企业开展状况

（3）企业薄膜沉积设备布局状况

（4）企业薄膜沉积设备布局的优劣势分析

6.3.3 C公司

（1）企业开展历程及基本信息

（2）企业开展状况

（3）企业薄膜沉积设备布局状况

（4）企业薄膜沉积设备布局的优劣势分析

6.3.4 D公司

（1）企业开展历程及基本信息

（2）企业开展状况

（3）企业薄膜沉积设备布局状况

（4）企业薄膜沉积设备布局的优劣势分析

6.3.5 E公司

（1）企业开展历程及基本信息

（2）企业开展状况

（3）企业薄膜沉积设备布局状况

（4）企业薄膜沉积设备布局的优劣势分析

第7章  中国薄膜沉积设备行业市场前瞻及投资策略建议

7.1 中国薄膜沉积设备行业开展潜力评估

7.1.1 PHPOLICY对行业开展现状总结

7.1.2 行业影响因素总结

7.1.3 行业开展潜力评估

（1）行业生命开展周期

（2）行业开展潜力评估

7.2 中国薄膜沉积设备行业开展前景预测

7.3 中国薄膜沉积设备行业开展趋势预判

7.4 中国薄膜沉积设备行业投资风险预警与防范策略

7.4.1 中国薄膜沉积设备行业投资风险预警

7.4.2 中国薄膜沉积设备投资风险防范策略

7.5 中国薄膜沉积设备行业投资价值评估

7.6 中国薄膜沉积设备行业投资机会分析

7.7 中国薄膜沉积设备行业投资策略与建议

7.8 中国薄膜沉积设备行业可持续开展建议